发明名称 VAPOR PHASE GROWTH METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH04214092(A) 申请公布日期 1992.08.05
申请号 JP19900401554 申请日期 1990.12.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGIYAMA IWAO
分类号 C30B25/02;C30B25/16;H01L21/365 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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