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发明名称
SCREENING METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH04212434(A)
申请公布日期
1992.08.04
申请号
JP19910009976
申请日期
1991.01.30
申请人
NEC CORP
发明人
NAKAHIRA MAMORU
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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