| 发明名称 |
Method and apparatus for removing impurity gas particles from a particle beam |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3387174(A) |
申请公布日期 |
1968.06.04 |
| 申请号 |
US19670654281 |
申请日期 |
1967.07.18 |
| 申请人 |
ATOMIC ENERGY COMMISSION USA |
发明人 |
POST RICHARD F. |
| 分类号 |
G21H5/00;G21K1/00;G21K1/14;H05H1/22 |
主分类号 |
G21H5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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