发明名称 ELECTRON BEAM TESTER
摘要
申请公布号 JPH04208883(A) 申请公布日期 1992.07.30
申请号 JP19900340144 申请日期 1990.11.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAZAWA KAZUHIRO;ITO AKIO
分类号 G01R31/302;H01J49/02;H01J49/08 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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