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发明名称 RESIST COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04206514(A) 申请公布日期 1992.07.28
申请号 JP19900339868 申请日期 1990.11.29
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 INOUE MASAHIRO
分类号 B05B3/08;B05C5/00;H01L21/027 主分类号 B05B3/08
代理机构 代理人
主权项
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