| 摘要 |
<p>Commande intelligente de flux massique permettant de commander le flux massique d'un gaz qu'on désire introduire dans une chambre de traitement d'un semiconducteur. Un circuit de détection mesure une différence de température au niveau d'un tube de détection et transpose cette différence pour régler une vanne qui commande le flux massique. Un microcontrôleur comprenant une unité centrale et des routines de logiciels et de traitement du signal surveille en continu les différents paramètres et produit des corrections "à la volée", ainsi que des prévisions, et assure le stockage des enregistrements sur une période de validité.</p> |
