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发明名称
APPARATUS FOR FORMING SUPERCONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH04202661(A)
申请公布日期
1992.07.23
申请号
JP19900330189
申请日期
1990.11.30
申请人
SUGITA TOSHIO
发明人
SUGITA TOSHIO
分类号
C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/34
主分类号
C01B13/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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