发明名称 METHOD OF DEPOSITING REFRACTORY METAL SILICIDE ON SILICON AREAS
摘要
申请公布号 EP0316243(B1) 申请公布日期 1992.07.22
申请号 EP19880420373 申请日期 1988.11.07
申请人 ETAT FRANCAIS REPRESENTE PAR LE MINISTRE DELEGUE DES POSTES ET TELECOMMUNICATIONS;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 发明人 TORRES, JOAQUIM;MADAR, ROLAND;BERNARD, CLAUDE;MILLION-BRODAZ, JEAN-FRANCOIS
分类号 C23C16/42;H01L21/285;H01L21/768 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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