| 主权项 |
1.一种正光阻组成物,包括1,2- 二叠氮化合物及硷 溶 性树脂,该树脂包括由含间-甲酚及2-第三丁基-5-甲 酚的 酚混合物与醛类之缩合反应所得到之树脂(Ⅰ):其 中该树 脂(Ⅰ)为醛类与含有间-甲酚及2-第三丁基-5-甲酚 的摩耳 比为95:5至60:40间之酚混合物之缩合产物。2.如申 请专利范围第1项之正光阻组成物,其中酚混合物 又含有邻-甲盼。3.如申请专利范围第1项之正光阻 组成物,其中盼混合物 又含有对-甲酚。4.如申请专利范围第1项之正光阻 组成物,其中该树脂(Ⅰ )为醛类与40-85mole%之间-甲酚,5-50mole%之邻-甲 酣及10-50mole%之2-第三丁基-5-甲酚的混合之缩合产 物 。5.如申请专利范围第1项之正光阻组成物,其中该 榭脂(Ⅰ )为醛类与40-87.5mole%之间-甲酚,2.5-50mole%之对 -甲酚及10-57.5mole%之2-第三丁基-5-甲酚的混合物 之缩合产物。6.如申请专利范围第1项之正光阻组 成物,其中该树脂(Ⅰ )之特征为:转换成聚苯乙烯时GPC中之分子量不大 于6000 范围之面积比不超过65 %及转换成聚苯乙烯时GPC中 之分 子量不大于900范围之面积比不超过30%,且其中该硷 溶性 树脂包括树脂(Ⅰ)及下式化合物:其中之R1,R2及R3为 相 同或不同且各为C1-C5烷基或C1-C5烷氧基;R1为氢原子 或 C1-C3烷基;以及b.m.及n各为0至3的整数。7.如申请专 利范围第6项之正光阻组成物,其中,式(Ⅱ) 之R1及R2均为甲基,R1为氢原子,m及n均为2,以及k为0 。8.如申请专利范围第6项之正光阻组成物,其中化 合物(Ⅱ )含量,对于每100重量份之机溶性简脂总重量而言 有4至 50重量份。9.如申请专利范围第1项之正光阻组成 物,其中该树脂(Ⅰ )之特征为:转换成聚苯乙烯时GPC中之分子量不大 于6000 范围之面积比不超过65%,以及转换成聚苯乙烯时GPC 中之 分子量不大于900范围之面积比不超过30%,且其中硷 溶性 树脂包括树脂(Ⅰ)及经GPC测量转换成聚苯乙烯时 之重量 平均分子量为2000至200的低分子量酚醛清漆树脂( Ⅲ)。10.如申请专利范围第9项之正光阻组成物,其 中酚醛清漆 树脂(Ⅱ)的含量,对于每100重量份之硷溶性树脂机 重量 而言为4至50重量份。11.如申请专利范围第9项之正 光阻组成物,其中酚醛清漆 树脂(Ⅲ)经GPC测量转换成聚苯乙烯时之重量平均 分子量 为1000至200。12.如申请专利范围第9项之正光阻组 成物,其中酚醛清漆 |
