| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER TRANSFERRING APPARATUS AND BOAT FOR THERMAL TREATMENT OF A SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5131799(A) |
申请公布日期 |
1992.07.21 |
| 申请号 |
US19900617872 |
申请日期 |
1990.11.26 |
| 申请人 |
TEL SAGAMI LIMITED |
发明人 |
NISHI, HIRONOBU;YAMAGA, KENICHI;ASANO, TAKANOBU |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/673;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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