发明名称 MICROWAVE ION SOURCE FOR GENERATING MASS ION
摘要
申请公布号 JPH04196032(A) 申请公布日期 1992.07.15
申请号 JP19900322899 申请日期 1990.11.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOKIKUCHI KATSUMI;GOTO SUMITAKA;AMAMIYA KENSUKE;HAKAMATA YOSHIMI;SAKUMICHI KUNIYUKI
分类号 H01J27/16;H01J27/18;H01J37/08 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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