| 发明名称 |
N,N-DIALKYLAMINOALKYL-N',N'-DIALKYLAMINODIMETHYLSILANE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04193886(A) |
申请公布日期 |
1992.07.13 |
| 申请号 |
JP19900326262 |
申请日期 |
1990.11.27 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
SHINOHARA NORIO;KUDO MUNEO;MATSUMURA KAZUYUKI |
| 分类号 |
G03F7/075;B01J27/13;C07F7/10;C08J5/12;C09J5/02;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/075 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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