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发明名称 PLASMA REACTOR
摘要
申请公布号 JPH04192520(A) 申请公布日期 1992.07.10
申请号 JP19900324736 申请日期 1990.11.27
申请人 RAMUKO KK 发明人 TAKASHIMA SHIGEKAZU
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/205;H01L21/30;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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