立式强流大束斑金属工业离子注入机

摘要

本实用新型注入机属电物理装置，涉及离子注入金属材料表面改性技术。注入机束线采用立式，使用强流大束斑离子源，工件靶利用直冷式三维传动。与现有技术相比，结构简单，容易操作，装机容量增加，生产效率高，成本降低，节约能源，可满足大批量工业生产的需要。利用本装置的注入机对金属材料表面进行离子注入改性表明，在改善刀具、模具、钛人造关节等耐磨损、耐腐蚀性方面已取得显著效果，可使被处理的工件使用寿命成倍地提高。

主权项

1、一种由主机、真空系统、供电系统、控制屏、控制台和去离子水冷却循环设备等部份构成的金属工业离子注入机，其特征是主机由上部的强流大束斑离子源，中间通过高真空插板阀与下部的真空室相接而构成一体。真空室内，在中心偏下的部位处于离子束的中心通道上，装置有工件靶，通过传动机构可以实现工件靶的三维空间定位。而在中心偏上的部位，处于离子束的中心通道上，装置有测量靶，借助于传动机构可以实现水平面内的一维移动。