发明名称 METHOD FOR EVALUATING A LITHIUM NIOBATE THIN FILM AND APPARATUS FOR PREPARING THE SAME
摘要
申请公布号 US5128007(A) 申请公布日期 1992.07.07
申请号 US19910691502 申请日期 1991.04.25
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 MATSUNAGA, HIRONORI;OHNO, HIROTAKA;OKAMOTO, YASUNARI
分类号 G01N21/31;C30B29/30;G01N21/21;G01N21/33;G01N21/84;G02B6/13 主分类号 G01N21/31
代理机构 代理人
主权项
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