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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04186724(A) 申请公布日期 1992.07.03
申请号 JP19900319668 申请日期 1990.11.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIGUCHI TETSUO
分类号 H01L29/73;H01L21/225;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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