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发明名称 SUBSTRATE HEATING DEVICE FOR THIN FILM FORMATION USE
摘要
申请公布号 JPH04186826(A) 申请公布日期 1992.07.03
申请号 JP19900316425 申请日期 1990.11.21
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KIYOFUJI SHINJI;SAKAKIBARA YASUSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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