发明名称
摘要
申请公布号 JPH0440320(B2) 申请公布日期 1992.07.02
申请号 JP19850074374 申请日期 1985.04.10
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 INOE TOMOYASU;TANGO HIROYUKI
分类号 H01L21/263;C30B1/02;C30B1/08;G03F7/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
主权项
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