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发明名称 ELECTRONIC PARTS INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04186169(A) 申请公布日期 1992.07.02
申请号 JP19900316586 申请日期 1990.11.21
申请人 NITSUSHIN KOUKI KK 发明人 KANEKO TAKESHI
分类号 G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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