发明名称 SEMICONDUCTOR SENSOR WITH VIBRATING ELEMENT
摘要
申请公布号 EP0400939(A3) 申请公布日期 1992.07.01
申请号 EP19900305777 申请日期 1990.05.29
申请人 SCHLUMBERGER INDUSTRIES, INC. 发明人 BARTH, PHILLIP W.;PETERSEN, KURT E.;MALLON, JOSEPH R.
分类号 G01L1/10;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L1/10
代理机构 代理人
主权项
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