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发明名称
SEMICONDUCTOR SENSOR WITH VIBRATING ELEMENT
摘要
申请公布号
EP0400939(A3)
申请公布日期
1992.07.01
申请号
EP19900305777
申请日期
1990.05.29
申请人
SCHLUMBERGER INDUSTRIES, INC.
发明人
BARTH, PHILLIP W.;PETERSEN, KURT E.;MALLON, JOSEPH R.
分类号
G01L1/10;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00
主分类号
G01L1/10
代理机构
代理人
主权项
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