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发明名称 SUBSTRATE WASHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04184928(A) 申请公布日期 1992.07.01
申请号 JP19900314573 申请日期 1990.11.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGINO SHIGEYUKI;KISA TOSHIMASA;OGAWA TSUTOMU
分类号 H01L21/304;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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