| 发明名称 |
FORMATION OF HIGH-MOLECULAR FILM AND DEVICE FOR FORMING THIS FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04180552(A) |
申请公布日期 |
1992.06.26 |
| 申请号 |
JP19900307286 |
申请日期 |
1990.11.15 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
IIJIMA MASAYUKI;TAKAHASHI YOSHIKAZU;UKISHIMA YOSHIYUKI;TOBARI TAKAO |
| 分类号 |
C08J5/18;B01J19/00;C23C14/12;H01L21/312 |
主分类号 |
C08J5/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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