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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM KONTINUIERLICHEN NIEDERSCHLAGEN VON ELEKTRISCHEN ISOLATOREN.
摘要
申请公布号 DE3685380(D1) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 DE19863685380 申请日期 1986.07.22
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC., TROY, MICH., US 发明人 CANNELLA, VINCENT D., BIRMINGHAM MICHIGAN 48009, US
分类号 C23C16/50;C23C16/54;C23C16/56;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/336;H01L21/677;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):C23C16/54 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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