| 发明名称 |
METHOD FOR THE DEPOSITION OF GROUP 15 AND/OR GROUP 16 ELEMENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU9015291(A) |
申请公布日期 |
1992.06.25 |
| 申请号 |
AU19910090152 |
申请日期 |
1991.11.19 |
| 申请人 |
THE COMMONWEALTH INDUSTRIAL GASES LIMITED |
发明人 |
GEOFFREY NORMAN PAIN |
| 分类号 |
C07F9/90;C23C16/18;C23C16/22;H01L21/205 |
主分类号 |
C07F9/90 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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