| 摘要 |
Un micro-anémomètre à semi-conducteur (10) est micro-usiné à partir d'un cristal en une forme présentant quatre faces externes épaisses (14, 15, 16, 17) définissant un rectangle extérieur, quatre sections minces (24, 25, 26, 27) définissant un rectangle intérieur ainsi que quatre branches orientées en diagonale (18, 19, 20, 21) reliant les coins du rectangle extérieur au rectange intérieur. Quatre résistances à semi-conducteur (34, 35, 36, 37) situées sur les quatre sections intérieures (24, 25, 26, 27) forment un pont de détection. Chaque face externe (14, 15, 16, 17) comporte une paire de contacts électriques (43 et 44, 51 et 52, 59 et 60, 67 et 68) reliés électriquement, par l'intermédiaire de fils conducteurs (39 et 40, 47 et 48, 55 et 56, 63 et 64) s'étendant le long des branches diagonales et partiellement le long des sections intérieures, à une des résistances à semi-conducteur (34, 35, 36, 37). Les résistances à semi-conducteur (34, 35, 36, 37) reliées physiquement ainsi que les faces externes (14, 15, 16, 17) forment un dispositif à semi-conducteurs robuste (10), tandis que l'isolation thermique et électrique des résistances (34, 35, 36, 37) les unes par rapport aux autres permet d'atteindre des températures de fonctionnement supérieures et d'améliorer la capacité de détection d'écoulement de fluide. |
