DETECTING APPARATUS FOR END POINT OF PLASMA ETCHING,申请号JP19900307527-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	DETECTING APPARATUS FOR END POINT OF PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号	JPH04179224(A)	申请公布日期	1992.06.25
申请号	JP19900307527	申请日期	1990.11.13
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	MAKINO TAKAMOTO;KOMINAMI SHINYA
分类号	H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利

AZA SPIRO ALKANE DERIVATIVES AS INHIBITORS OF METALLPROTEASES AND PHARMACEUTICAL COMPOSITIONS CONTAINING THEM

BEVERAGE DISPENSING TAP

УСОВЕРШЕНСТВОВАННЫЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ КАБЕЛИ СТВОЛА СКВАЖИНЫ

ГЕПАТОПРОТЕКТОРНОЕ СРЕДСТВО И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАННОЙ ПОДАЧИ КРЫШЕК НА ГОРЛЫШКИ БУТЫЛОК

СПОСОБ СБОРА И ВЫВОЗА БЫТОВЫХ ОТХОДОВ И МАШИНА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

ФЛАКОН-СМЕСИТЕЛЬ ДЛЯ ЛЕКАРСТВЕННЫХ ВЕЩЕСТВ (ВАРИАНТЫ)

СИСТЕМА ЩЕЛОЧНОГО ТОПЛИВНОГО ЭЛЕМЕНТА

СПОСОБ МОЛЛИРОВАНИЯ СТЕКЛЯННЫХ ЛИСТОВ МЕТОДОМ ВСАСЫВАНИЯ ВОЗДУХА

СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ ОДНИМ ПАРАМЕТРОМ ВЕНТИЛЯЦИИ АППАРАТА ИСКУССТВЕННОГО ДЫХАНИЯ ДЛЯ ВЕНТИЛЯЦИИ ЛЁГКОГО ПАЦИЕНТА В СООТВЕТСТВИИ С ПОЛОЖЕНИЕМ ЛЕГКОГО

PROCESS FOR ENANTIOSELECTIVE SYNTHESIS OF SINGLE ENANTIOMERS OF MODAFINIL BY ASYMMETRIC OXIDATION

СИСТЕМА ДОСТАВКИ ИНДИКАТОРА В СИСТЕМЕ ТРАСПОРТИРОВАНИЯ ТЕКУЧИХ СРЕД И ПРИМЕНЕНИЕ ТАКОЙ СИСТЕМЫ ДОСТАВКИ

СНИЖЕНИЕ РАСХОДА ИЗВЕСТИ ПРИ ОБРАБОТКЕ ТУГОПЛАВКИХ ЗОЛОТЫХ РУД ИЛИ КОНЦЕНТРАТОВ

ФАРМАЦЕВТИЧЕСКИЕ КОМПОЗИЦИИ БЕНДАМУСТИНА, ПРЕДНАЗНАЧЕННЫЕ ДЛЯ ЛИОФИЛИЗАЦИИ

COMPOSITIONS AND METHODS FOR INCREASING TELOMERASE ACTIVITY

ПОВОРОТНО-ОТКИДНОЕ ОКНО С ЭЛЕКТРОМОТОРНЫМ ПРИВОДОМ С ТЯГОВОЙ ЦЕПЬЮ

ДОБАВКИ К СРЕДСТВАМ ДЛЯ МЫТЬЯ ТЕЛА

SCINTILLATOR MATERIAL BASED ON RARE EARTH WITH A REDUCED NUCLEAR BACKGROUND

ЧЕТВЕРТИЧНЫЕ АММОНИЕВЫЕ СОЛИ, КАК КОНВЕРСИОННЫЕ ПОКРЫТИЯ ИЛИ ПРОТИВОКОРРОЗИОННАЯ ДОБАВКА ДЛЯ КРАСОК

LOAD-CARRYING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURE