发明名称 VERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON VERUNREINIGENDEN STOFFEN AUS BOHRUNGEN.
摘要
申请公布号 DE3779169(D1) 申请公布日期 1992.06.25
申请号 DE19873779169 申请日期 1987.03.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 EGITTO, FRANK DANIEL, BINGHAMTON NEW YORK 13905, US;EMMI, FRANCIS, BINGHAMTON NEW YORK 13901, US;MLYNKO, WALTER EUGENE, VESTAL NEW YORK 13850, US;SUSKO, ROBIN ANNE, OWEGO NEW YORK 13827, US
分类号 B08B3/08;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H05K3/00;H05K3/08;H05K3/26;H05K3/42;(IPC1-7):H05K3/42 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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