发明名称 一种改进大功率双向晶闸管换向能力的方法
摘要 本发明是一种用12meV电子辐照提高大功率双向晶闸管换向能力的方法。通过三种不同方式的辐照和辐照后的退火工艺,来实现器件全面参数的最佳化,这一新工艺可使双向晶闸管的成品率明显提高,将会创造一定的经济效益。
申请公布号 CN1062238A 申请公布日期 1992.06.24
申请号 CN91104569.4 申请日期 1991.07.10
申请人 吉林大学 发明人 赵善麒
分类号 H01L21/263;H01L21/423;H01L21/324 主分类号 H01L21/263
代理机构 吉林大学专利事务所 代理人 张博然
主权项 一种提高大功率双向晶闸管换向能力的方法,其特征在于:用12Mev电子对双向晶闸管进行三种不同方式的辐照,并在辐照后进行退火处理。
地址 130023吉林省长春市解放大路83号