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发明名称 DEVICE FOR SIMULTANEOUS VAPOR DEPOSITION AND POLYMERIZATION IN ALL DIRECTIONS
摘要
申请公布号 JPH04173963(A) 申请公布日期 1992.06.22
申请号 JP19900299002 申请日期 1990.11.06
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 TADA ISAO;TAKAHASHI YOSHIKAZU;SUNAGA YOSHIO
分类号 C23C14/12;C23C14/24 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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