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发明名称 HYDROGENIERTES AMORPHES SILIZIUM BEINHALTENDE STRUKTUR UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号 DE3778986(D1) 申请公布日期 1992.06.17
申请号 DE19873778986 申请日期 1987.06.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 HALLER, IVAN, CHAPPAQUA, NY 10 514, US
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/203 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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