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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERT OPTISCHEN ANORDNUNG.
摘要
申请公布号 AT76981(T) 申请公布日期 1992.06.15
申请号 AT19850111386T 申请日期 1985.09.09
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 PLIHAL, MANFRED, DR.;SCHLOETTERER, HEINRICH, DR.;TROMMER, REINER, DR.
分类号 G02B6/12;G02B6/42;H01L31/02;H01L33/00;(IPC1-7):G02B6/12 主分类号 G02B6/12
代理机构 代理人
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