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发明名称 STRAHLUNGSMESSGERAET.
摘要
申请公布号 DE3870683(D1) 申请公布日期 1992.06.11
申请号 DE19883870683 申请日期 1988.02.25
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KADOSAWA, TSUNEAKI, NAKA-GUN KANAGAWA-KEN, JP;KORENAGA, NOBUSHIGE, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G01T7/00;A61B6/00;G01T1/00;G01T1/16;G01T1/17;G01T1/20;G01T1/29;G03F7/20;G21K1/04;G21K5/02;H01L21/027;H01L21/30;H05G1/26;(IPC1-7):G01T1/29 主分类号 G01T7/00
代理机构 代理人
主权项
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