发明名称 | 半导体部件及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明为一种半导体部件的制造方法,其特征在于:在多孔单晶半导体区域上形成配置了非多孔单晶半导体区域的部件;在上述的非多孔单晶半导体表面贴以由绝缘物质构成的部件的表面,进行表面贴合之后,用腐蚀法把上述的多孔单晶半导体区域除掉。 | ||
申请公布号 | CN1061871A | 申请公布日期 | 1992.06.10 |
申请号 | CN91108569.6 | 申请日期 | 1991.08.03 |
申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 米原降夫 |
分类号 | H01L21/02;H01L21/20;C30B25/00;C30B19/00 | 主分类号 | H01L21/02 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人 | 范本国 |
主权项 | 1、一种半导体部件的制造方法,其特征在于: 在多孔单晶半导体区域上形成配置了非多孔单晶半导体区域的部件; 在上述的非多孔单晶半导体表面贴以由绝缘物质构成的部件的表面,进行表面贴合之后; 用腐蚀法把上述的多孔单晶半导体区域除掉。 | ||
地址 | 日本东京 |