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发明名称 PLELIMINARY HEATING METHOD FOR SEALING RESIN
摘要
申请公布号 JPH04164337(A) 申请公布日期 1992.06.10
申请号 JP19900292725 申请日期 1990.10.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUMURA KEIZO
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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