发明名称
摘要
申请公布号 JPH0465437(U) 申请公布日期 1992.06.08
申请号 JP19900108054U 申请日期 1990.10.16
申请人 发明人
分类号 B26F3/00;B28D5/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B26F3/00
代理机构 代理人
主权项
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