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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04162536(A) 申请公布日期 1992.06.08
申请号 JP19900287650 申请日期 1990.10.24
申请人 SHARP CORP 发明人 TOKUYAMA YOSHIHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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