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发明名称 HORIZONTAL-TYPE OXIDATION AND DIFFUSION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04162526(A) 申请公布日期 1992.06.08
申请号 JP19900287592 申请日期 1990.10.24
申请人 SONY CORP 发明人 OONUMA NORIHIRO;SAKAGUCHI JUNJI
分类号 H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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