发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04162472(A) 申请公布日期 1992.06.05
申请号 JP19900286170 申请日期 1990.10.24
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 TAKASHINA REIJI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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