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发明名称 VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG VON TGS
摘要
申请公布号 DD300345(A7) 申请公布日期 1992.06.04
申请号 DD19880324484 申请日期 1988.12.29
申请人 TU DRESDEN DIREKT. FORSCH. 发明人 HEINZE MATTHIAS;NEUMANN NORBERT;THIERSCH HANS-ULLRICH
分类号 H01L21/44;H01L41/22;(IPC1-7):H01L41/22 主分类号 H01L21/44
代理机构 代理人
主权项
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