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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HOMOGENEN POLYMETHYLMETHACRYLAT-SCHICHTEN AUF SUBSTRATOBERFLAECHEN
摘要
申请公布号
DD146220(A1)
申请公布日期
1981.01.28
申请号
DD19790215535
申请日期
1979.09.14
申请人
LORKOWSKI,HANS-JOACHIM,DD;VON LAMPE,IRENE,DD
发明人
LORKOWSKI,HANS-JOACHIM,DD;VON LAMPE,IRENE,DD
分类号
H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312
主分类号
H01L21/312
代理机构
代理人
主权项
地址
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