发明名称 |
FIELD EFFECT TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04157735(A) |
申请公布日期 |
1992.05.29 |
申请号 |
JP19900281894 |
申请日期 |
1990.10.22 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UMEMOTO YASUNARI;MATSUMOTO HIDETOSHI;OISHI YOSHIHISA;UCHIYAMA HIROYUKI;KAGAYA OSAMU |
分类号 |
H01L29/20;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L29/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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