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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04152515(A) 申请公布日期 1992.05.26
申请号 JP19900276713 申请日期 1990.10.16
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OTA YOSHIFUMI
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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