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经营范围
发明名称
WAFER HANDLING SYSTEM WITH BERNOULLI PICK-UP
摘要
申请公布号
EP0419461(A4)
申请公布日期
1992.05.20
申请号
EP19880906447
申请日期
1988.06.17
申请人
EPSILON TECHNOLOGY, INC.
发明人
GOODWIN, DENNIS, L.;CRABB, RICHARD;ROBINSON, MCDONALD;FERRO, ARMAND, P.
分类号
C23C14/56;B25J9/10;B25J19/00;B25J21/00;C23C16/44;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01J37/20
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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