发明名称 FILM FORMING PROCESS
摘要
申请公布号 EP0448781(A3) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 EP19900120941 申请日期 1990.10.31
申请人 YAMATO KAKO KABUSHIKI KAISHA 发明人 NAKAMA, HIROSHI
分类号 C23C14/04;C23C14/06;C23C26/00;C23C28/00;C23C28/02;G03F7/11;(IPC1-7):G03F7/085;G03F7/09 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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