发明名称 METHOD FOR PLASMA ETCHING OF A MATERIAL
摘要
申请公布号 EP0223721(B1) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 EP19860420252 申请日期 1986.10.15
申请人 ETAT FRANCAIS REPRESENTE PAR LE MINISTRE DES PTT (CENTRE NATIONAL D'ETUDES DES TELECOMMUNICATIONS) 发明人 HENRY, DANIEL;BOSWELL, RODERICK
分类号 H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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