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发明名称 METHOD OF FORMING A CONDUCTIVE VIA PLUG OR AN INTERCONNECT LINE OF DUCTILE METAL WITHIN AN INTEGRATED CIRCUIT USING MECHANICAL SMEARING
摘要
申请公布号 EP0430040(A3) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 EP19900122197 申请日期 1990.11.20
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 DOAN,TRUNG TRI
分类号 H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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