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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04145657(A) 申请公布日期 1992.05.19
申请号 JP19900268360 申请日期 1990.10.08
申请人 HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD 发明人 SHIMAMOTO HIROMI;NAKAMURA TORU;NANBA MITSUO;WASHIO KATSUYOSHI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L23/58 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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