发明名称 EVAPORATING SOURCE DEVICE IN VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH04141579(A) 申请公布日期 1992.05.15
申请号 JP19900262068 申请日期 1990.09.28
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 YOSHIDA TAKESHI;FUKUTOMI NAOKI;TAKEMURA KENZO;YAMAZAKI AKIO
分类号 C23C14/24;C23C14/30 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
地址