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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04142743(A) 申请公布日期 1992.05.15
申请号 JP19900265948 申请日期 1990.10.03
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 HARIMA YOSHIYUKI
分类号 H01L21/31;C21D1/00;H01L21/22 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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