发明名称 TRANSFERRING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04142755(A) 申请公布日期 1992.05.15
申请号 JP19900265501 申请日期 1990.10.03
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSUU TOUHOKU EREKUTORONIKUSU:KK 发明人 IWATA YOSHIHIRO;ICHIJO HIROBUMI;HATA YUICHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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